
MCK-6RC系列为新型大平台半导体检查金相显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MCK-6RC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
一、大平台金相显微镜主要用途和特点:
MCK-6RC系列为新型大平台半导体检查金相显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MCK-6RC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
性能特点:
■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层
■ 6英寸大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
■ 6英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。
■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
■ 高清相机CKC600,630万像素,帧速40fps;高清相机CKC2000,2000万像素,帧速真大15fps;可根据实际使用要求进行选配;
● 独立的金相检测系统
不同于传统的金相显微镜,蔡康光学金相系统显微镜选择了紧凑的结构设计,外观大气稳重,操作更为灵活。集成了明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用进行选择。
● 无限远铰链三目观察筒
正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。
● 高品质专业LCD检测金相物镜
|
名称 |
倍率 |
数值孔径 |
工作距离 |
名称 |
倍率 |
数值孔径 |
工作距离 |
|
半复
明暗场物镜 |
5X |
0.15 |
14.8mm |
萤石
明暗场物镜 |
5X |
0.15 |
20mm |
|
10X |
0.30 |
8.5mm |
10X |
0.30 |
11mm |
||
|
20X |
0.45 |
11.9mm |
20X |
0.45 |
3.0mm |
||
|
50X |
0.75 |
3.0mm |
50X |
0.80 |
1.0mm |
||
|
100X |
0.80 |
3.0mm |
100X |
0.90 |
1.0mm |
● 高眼点大视野屈光度可调平场目镜
SWH10X-H/23mm高眼点大视野平场目镜, 屈光度可调。
SWH10X-H/25mm超宽25mm视野高眼点目镜,相对常规22mm的视场范围,视野更加平坦,宽广,并且视场边缘都能保证清晰明亮,给用户更加舒适的视觉感受。提供更加平台的观察范围,提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。
亦可选配其它倍率、视场,并根据不同需求添加指针、测微尺及视度可调功能。
● 高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
二、大平台金相显微镜MCK-6RC 功能介绍:
MCK-6RC 集成了明场、暗场、偏光、DIC等多种观察功能。 广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测.
集成了明场、暗场、偏光、DIC等各种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
●明场观察(反射)
反射照明系统,配以全新设计的无限远半复消长距明暗场物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
●明场观察(透射)
10W大功率LED,配以N.A.0.9聚光镜,可在透射照明下,观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。
●暗场观察
将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂志点及其他细微缺陷。
●简易偏光观察
偏振系统包括了起偏镜插板和检偏镜插板,可做偏光检测,在半导体和PCB检测中,可消除杂光,细节更清晰真实。360度旋转式检偏器可以在不移动标本的情况下,方便的观察标本在不同偏振角度光线下呈现的状态.
●DIC微分干涉观察(选配)
DIC诺曼尔斯基微分干涉衬比系统附件。
在正交偏光的基础上,插入DlC棱镜,可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,大幅提高图像对比度。
采用高性能微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,广泛用于LCD导电粒子,精密磁盘表面划痕检测等领域。
三、大平台金相显微镜主要技术参数:
|
名 称 |
参数规格 |
||||
|
光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
||||
|
观察方式 |
明场/暗场/偏光 |
||||
|
光学放大倍数 |
50倍-1000倍 |
||||
|
数码放大倍数 |
150倍-3000倍 |
||||
|
观察筒 |
正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
||||
|
目镜 |
高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调 |
||||
|
无限远半复消色差长距明暗场物镜 |
物镜倍率 |
数值孔径N A |
工作距离WD(mm) |
齐焦距离 |
|
|
5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
||
|
10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
||
|
20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
||
|
50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
||
|
100X(选配) |
0.80 |
3.0 |
45 |
||
|
物镜转换器 |
5孔明暗场手动物镜转换器(带DIC插槽) |
||||
|
调焦机构 |
低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 |
||||
|
载物台 |
6英寸平台,平台面积 450*220mm,移动行程:158mmX158mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 |
||||
|
落射照明系统 |
5W大功率LED灯,亮度可调,预定中心 |
||||
|
带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽 |
|||||
|
内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 |
|||||
|
透射照明系统 |
摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) |
||||
|
5W大功率LED灯,亮度可调,预定中心 |
|||||
|
偏光装置 |
起偏镜:插入式起偏镜,可以移出光路 |
||||
|
检偏镜:插入式可360°旋转检偏镜,可以移出光路 |
|||||
|
暗场装置 |
推拉式暗场观察拉杆,可快速转换到暗场观察 |
||||
|
微分干涉DIC |
诺曼尔斯基微分干涉片(选配) |
||||
|
高清数字摄像机CKC2000S |
最高分辨率 5440×3648,搭载 1 英寸索尼 CMOS 传感器,2000 万像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速传输,多分辨率档位帧率输出,宽温 - 20℃~70℃稳定工作,C 型镜头接口。
内置数字 ISP 图像处理,支持手动 / 自动白平衡、增益调节,长短曝光可调,最长曝光 1500ms;支持定时连拍、录像、无损图像存储,可翻转、缩放裁剪图像,色彩还原度高,低噪点成像。 |
||||
|
显微软件 |
专业显微分析软件,支持景深合成、图像拼接;可测量点、线、圆、角度等各类几何参数,工具操作直观。
支持录像、图像后期编辑,可添加文字、比例尺;多图像格式输出,配套 SDK 开发包,兼容国产系统,适用于各类显微检测分析。 |
||||
四、大平台金相显微镜组成:
1、金相显微镜MCK-6R 2、摄像机接口
3、高清数字摄像机CKC2000S 4、0.01mm测微尺 5、计算机(选购)