
MCK-4RC系列为新型大平台半导体检查金相显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MCK-4RC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
一、大平台金相显微镜主要用途和特点:
MCK-4RC系列为新型大平台半导体检查金相显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MCK-4RC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
性能特点:
■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层
■ 4英寸大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
■ 4英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。
■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
■ 高清相机CKC600,630万像素,帧速40fps;高清相机CKC2000,2000万像素,帧速真大15fps;可根据实际使用要求进行选配;
三、大平台金相显微镜主要技术参数:
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名 称 |
参数规格 |
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光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
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观察方式 |
明场/暗场/偏光 |
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光学放大倍数 |
50倍-500倍 |
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数码放大倍数 |
150倍-2000倍 |
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观察筒 |
正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
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目镜 |
高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调 |
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无限远半复消色差长距明暗场物镜 |
物镜倍率 |
数值孔径N A |
工作距离(mm) |
齐焦距离 |
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5X |
0.15 |
14.8 |
45 |
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10X |
0.3 |
8.5 |
45 |
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20X |
0.45 |
11.9 |
45 |
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50X |
0.75 |
3.0 |
45 |
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100X(选配) |
0.80 |
3.0 |
45 |
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物镜转换器 |
5孔明暗场电动物镜转换器(带DIC插槽) |
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调焦机构 |
低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置 |
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载物台 |
4英寸载物台,平台面积 310*240mm,移动行程:100mmX100mm机械平台,X、Y方向同轴调节; |
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落射照明系统 |
10W大功率LED灯,亮度可调,预定中心 |
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带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽 |
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内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 |
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透射照明系统 |
摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) |
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10W大功率LED灯,亮度可调,预定中心 |
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偏光装置 |
起偏镜:插入式起偏镜,可以移出光路 |
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检偏镜:插入式可360°旋转检偏镜,可以移出光路 |
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暗场装置 |
推拉式暗场观察拉杆,可快速转换到暗场观察 |
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微分干涉DIC |
诺曼尔斯基微分干涉片(选配) |
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高清数字摄像机CKC2000S |
分辨率 5440×3648,搭载 1 英寸索尼 CMOS 传感器,2000 万像素、2.4μm 像元;Type-B USB3.0 高速传输,多分辨率档位帧率输出,宽温 - 20℃~70℃稳定工作,C 型镜头接口。
内置数字 ISP 图像处理,支持手动 / 自动白平衡、增益调节,长短曝光可调,最长曝光 1500ms;支持定时连拍、录像、无损图像存储,可翻转、缩放裁剪图像,色彩还原度高,低噪点成像。 |
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显微软件 |
专业显微分析软件,支持景深合成、图像拼接;可测量点、线、圆、角度等各类几何参数,工具操作直观。
支持录像、图像后期编辑,可添加文字、比例尺;多图像格式输出,配套 SDK 开发包,兼容国产系统,适用于各类显微检测分析。 |
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四、大平台金相显微镜组成:
1、金相显微镜MCK-4R 2、摄像机接口
3、高清数字摄像机CKC2000S 4、0.01mm测微尺 5、计算机(选购)