探针冷热台是专为材料变温电学性能表征而设计的原位测试平台，用于研究样品电学参数随温度变化的规律。
探针冷热台是专为材料变温电学性能表征而设计的原位测试平台，用于研究样品电学参数随温度变化的规律。
该设备采用液氮制冷与电阻加热复合温控系统，可在-190°C至600°C范围内对样品台实现精确稳定的温度控制。该系统具备优异的集成兼容性，可轻松与光学显微镜及各类电学测量仪表（如源表、万用表等）联用，共同构建一套完整的变温原位电学测试解决方案。
二、仪器主要技术参数：
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型号 |
TCK600-190-4C |
TCK600-190-4 |
TCK600-190-2e |
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温控模块 |
冷热方式 |
液氮致冷，电阻加热 |
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温控范围 |
-190～600℃ * |
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温度稳定性 |
±0.1℃ * |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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升降温速率 |
0~50℃/min（可定点 / 程序段控温） |
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温控方式 |
PID |
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温度传感器 |
PT100 |
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光学特性 |
光路 |
反射光路 *可升级为透射光路 |
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视窗材质 |
石英玻璃 * |
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视窗尺寸 |
Φ25mm * |
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物镜工作距离 |
8mm * |
10mm * |
12.5mm * |
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透光孔 |
默认无透光孔 *可升级透光孔 |
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视窗除霜 |
负温下吹气除霜 |
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电学特性 |
探针 |
磁吸式探针x4（钨钢镀金），手动定位 * |
固定式探针x4，手动定位 * |
电控位移探针x2 * |
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探针接口 |
BNC接口x4 * |
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样品台面电位 |
默认电悬空 *可选电接地 |
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结构特性 |
样品台尺寸 |
23×23mm * |
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样品台材质 |
银质 * |
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外形尺寸 |
120×100×30mm * |
160×150×30mm * |
110×170×45mm * |
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样品腔高度 |
7mm * |
8.5mm * |
10.5mm * |
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XYZ位移行程 |
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±6mm |
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探针位移精度 |
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5nm |
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腔室 |
气密 *可升级真空 |
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外壳冷却 |
循环水 |
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基本配置 |
微型探针冷热台x1、温度控制器x1、致冷控制器x1（低温配置）、液氮罐x1（低温配置）、温控软件x1、连接管路若干 |
探针冷热台x1、温度控制器x1、致冷控制器x1（低温配置）、液氮罐x1（低温配置）、温控软件x1、连接管路若干 |
电控探针冷热台x1、温度控制器x1、致冷控制器x1（低温配置）、液氮罐x1（低温配置）、温控软件x1、循环水系统x1（高温配置）、连接管路若干 |
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其他配置 |
电脑主机/安装支架/真空系统/三同轴BNC/循环水系统/定制温控软件 |
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